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張平全
為國出力的時(shí)候到了
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樓主  發(fā)表于: 2020-07-12 05:42
我們做的是晶體生長行業(yè)超高真空設(shè)備，需要在超高真空4.0E-11Torr環(huán)境內(nèi)把指甲大小，厚度約0.2mm產(chǎn)品加溫到800度左右，普通的發(fā)熱管，發(fā)熱片是不行的，如果有接觸到這類國外設(shè)備的朋友們，請?zhí)峁﹨⒖?br />由于眾所都知的原因，我們公司已承接到國家級的一個小技術(shù)項(xiàng)目開發(fā)，在國外這是幾十年前就有的技術(shù)，但國內(nèi)還處于空白狀態(tài)，我們需要從零開始奮起直追，希望得到以下技術(shù)參考，謝謝

由于在回復(fù)大家的信息過程 中，出現(xiàn)了多次360退出及信息被轉(zhuǎn)移的情況，有些信息我不再回復(fù)祥細(xì)技術(shù)內(nèi)容，請理解
[ 此帖被張平全在2020-07-15 23:40重新編輯 ]
kongxin268
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1樓  發(fā)表于: 2020-07-12 06:18
激光，電磁，超聲波。不知可用嗎？
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    zhuo610616
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    2樓  發(fā)表于: 2020-07-12 08:06
    頂起，雖然我不知道用什么材料，不過還是要頂一下
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    張平全
    為國出力的時(shí)候到了
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    3樓  發(fā)表于: 2020-07-12 10:23
    因?yàn)橐w加熱一只產(chǎn)品，激光加熱的論證我們沒有通過
    目前使用的是鎢絲加熱，但一旦升到450度左右，便有不良物質(zhì)析出，找了國際上正常供貨的能找到的不低于五六家，國內(nèi)也有五六家，最高5個9的純鎢絲，也在氣體分析儀上能讀出有足以影響到實(shí)驗(yàn)成敗的雜質(zhì)，因此只能多管齊下，探索多條路子
    希望得到大家的提示幫助，集思廣益，
    書香伴侶
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    4樓  發(fā)表于: 2020-07-12 11:29
    固態(tài)加熱器或者石墨加熱器？測溫就用溫控探頭就好啦
    樓主留言：
    目前，夾具是石墨做的，鎧裝熱電偶放在夾具外面，測不準(zhǔn)，同在大氣壓環(huán)境對比，估計(jì)差幾十度，
    產(chǎn)品為。。。。，普通熱電偶等接觸式測量是行不通的，因?yàn)榈竭_(dá)軟化點(diǎn)后，會破壞產(chǎn)品，是不可以接受的，目前用紅外線輔助測溫，但離理想精度太遠(yuǎn)了
    haiyouyang
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    5樓  發(fā)表于: 2020-07-12 12:24
    連這都不知道，還做啥子真空設(shè)備！！！！！
    樓主留言：
    我們也有請，。。。。注廠，但還是沒有完全 解決
    yerong
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    6樓  發(fā)表于: 2020-07-12 13:05
    激光   電子束   渦流   超聲波  高頻感應(yīng)    微波
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    tkggtdkjpl
    工欲善其事，必先利其器！
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    7樓  發(fā)表于: 2020-07-12 19:20
    補(bǔ)充7樓    等離子加熱
    樓主留言：
    真誠感謝！
    電子束，射頻等我們都有試驗(yàn)體，這兩種方案對產(chǎn)品傷害很大，在顯微鏡下能看到，微觀上對光潔的產(chǎn)品表面造成不可再用的后果，當(dāng)然溫度也就400多度，我們的目標(biāo)是產(chǎn)品表面加熱而不是產(chǎn)品整體加熱，所有目前使用的是熱輻射加溫，對流不可以用的，腔體已經(jīng)達(dá)到外太空一樣的潔凈度環(huán)境，已試驗(yàn)偶 然能成功，但無法確保穩(wěn)定重復(fù)，一直無法突破，從目前文獻(xiàn)上來看，。。。。。，再加上已知僅氬氣,氦氣對產(chǎn)品無聲無害,
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    • 自動化單機(jī)，生產(chǎn)線，項(xiàng)目編程調(diào)試！
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    8樓  發(fā)表于: 2020-07-12 20:57
    按目前的情況來看，加 溫：有生產(chǎn)5個9以上高純度的鎢絲供應(yīng)商是個不錯的消息，但一定有比這更優(yōu)的加溫方案
                                    測 溫：能優(yōu)于穿透藍(lán)寶石鍍膜石英玻璃窗口的紅外線測溫方法是最優(yōu)先選擇之一
    honggun
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    9樓  發(fā)表于: 2020-07-12 23:17
    加熱的空間多大？一次加熱一片還是一次加熱很多片？
    樓主留言：
    加熱是個半圓柱體，腔體內(nèi)空間直徑500毫米，高度約400毫米，搭建的是六個工位，但都沒有成功的痕象，包括使用機(jī)器視覺測量晶體狀態(tài)的技術(shù)手法都使用了，我們參與后，在原有模式下，我們僅使用一個工位，做出了OK品，但重復(fù)比例不高，很多是著急，就是無不精確加熱控溫，團(tuán)隊(duì)目前受困于加熱材料和測溫手法，期待你更多的支特
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    wei0212007
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    10樓  發(fā)表于: 2020-07-13 08:08
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    張平全
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    11樓  發(fā)表于: 2020-07-14 04:57
    這個技術(shù)在涉及到直徑2厘米。。。。。。。。。砷化鎵外延片和玻璃的鍵合行業(yè)有國外進(jìn)口的配套工藝在國內(nèi)生產(chǎn)中使用，如果有參考消息，也可以私信我，謝謝
    另外，告之大家，電子束的加熱方法不可用，我們有64到128束的電子束加溫設(shè)備，一整套這樣的加熱器連成真空腔體等近千萬，事實(shí)證明，不是有錢就可以堆出來的，理論很簡單，實(shí)現(xiàn)不容易
    [ 此帖被張平全在2020-07-20 23:02重新編輯 ]